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CS200-C型 数字式气体质量流量控制器高质量金属表面产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，表面处理：表面粗糙度16Ra或10Ra；电抛光Cr/Fe ratio >2.0；钝化CrO thickness >20 Angstroms，全金属密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
CS200-C型 数字式气体质量流量控制器高质量金属表面产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，表面处理：表面粗糙度16Ra或10Ra；电抛光Cr/Fe ratio >2.0；钝化CrO thickness >20 Angstroms，全金属密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
| 产品型号 | CS200-C |
| 量程(N2) | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | |
| 精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% FS |
| 响应时间 | ≤0.8 sEC |
| 阀类型 | Normally Closed or Normally Open |
| 温度系数 | Zero ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零点漂移指标 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 | 10 µinch |
| 工作环境温度 | （0～50）℃ |
| 输入信号 | Digital:RS485/DeviceNet/Profibus Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA |
| 模拟流量输出信号 | 0-5V和4-20mA |
| 模拟流量控制信号 | 0-5V和4-20mA |
| 电源要求 | ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA) |
| 电气连接 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male DeviceNet male+Analog Output，Profibus |
| 工作压差范围 | (0.05～0.35) Mpa（≤10slm） (0.1～0.35) Mpa（>10slm） |
| 最大耐压 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 | metal,Stainless Steel VV, 5Ra |
| 表面化学成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 |
| 接头尺寸 | VCR1/4” M 双卡套&pHi;6，双卡套1/4” W-seal，C-seal |
| 重量 | 1.2kg |